石英ガラス 管・棒
当社の石英ガラス管・棒は、超LSI プロセス用の合成石英から、各種治工具用の溶融石英まで、各種取り揃えております。
合成石英は、VAD 法（Vapor-phased Axial Deposition）を改良発展させた独自の製法であり、超高純度で気泡を含まない管・棒製品を提供します。
溶融石英は、高純度水晶を原料とした製法であり、気泡の少ない有水品と、耐熱性の高い無水品を提供します。
品 種
標準寸法
| 外径（mm） | 肉厚（mm） | 長さ（m） | |
|---|---|---|---|
| 小 径 管 | 5～100 | 0.7～15 | 1 |
| 大 径 管 | 100～450 | 3～5 | 2～3 |
| 棒 | 5～200 | 1 |
※上記以外の寸法につきましては、別途御相談に応じます。
微量不純物分析値
ppm
| 元 素 | Al |
Fe | Ca | Cu | Na | K | Li | OH基 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| SK-1300 | ＜0.01 | ＜0.01 | ＜0.01 | ＜0.01 | ＜0.01 | ＜0.01 | ＜0.01 | ＜200 |
| SK-1310 | ＜0.01 | ＜0.01 | ＜0.01 | ＜0.01 | ＜0.01 | ＜0.01 | ＜0.01 | ＜1 |
| SK-4304 | 9 | 0.3 | 0.6 | ＜0.03 | 0.3 | 0.2 | ＜0.1 | 約150 |
| SK-4306 | 8 | 0.2 | 0.4 | ＜0.03 | 0.1 | ＜0.1 | ＜0.1 | 約150 |
(数値は参考値であり、保証値ではありません。)
粘 性
(数値は参考値であり、保証値ではありません。)
耐薬品
| 薬品 | 処理温度(℃)・時間(H) | 重量損失(mg/cm2) | |
|---|---|---|---|
| 5% HCℓ | 25 | 100 | 0.01 |
| 5% H2SO4 | 25 | 100 | 0.01 |
| 10% NH4OH | 20 | 100 | 0.015 |
| 10% NaOH | 20 | 100 | 0.03 |
(数値は参考値であり、保証値ではありません。)
製品に関するお問い合わせ
営業部
03-5294-1100 メール
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