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石英加工プロセスチャート


合成石英
SK-1300シリーズ
SK-1300
SK-1310
特徴 光ファイバー用に開発されたVAD法を当社独自の方法で改良・発展した合成石英です。

他に類を見ない理想的特性を有しています。

高純度(金属不純物の総量が0.5ppm以下)です。
OH基を1ppm以下にコントロールできます。
高耐熱性を発揮します。
高い透過率です。
    (特にSK-1310は紫外・可視・赤外の全波長域にわたり優れています。)
気泡、脈理が含まれていません。
耐レーザー特性に優れています。
均質性に優れた精密光学用材料も用意しております。(SK-1320シリーズ)
用途 超LSI製造プロセス用
炉心管
各種治工具
スパッタリングターゲット
超LSI用フォトマスク基板
TFT、CCDなど、各種映像デバイス用基板
レーザー用レンズ、ミラー、ウィンドウなどの工学素子
光ファイバー用材料
標準サイズ 管類
太管外径:100~450
細い外径:5~100
棒類
外径:3~200
板類
50~500丸、角

溶融石英
SK-4304シリーズ
SK-4306 シリーズ
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特徴 精選した天然水晶を、酸水素炎で融解製造した高純度石英です。

SK-4306は高純度アルカリ品です。

用途 半導体工業用
各種治工具
大型洗浄槽
スパッタリングターゲット
理化学用
標準サイズ 管類
太管外径:100~450
細い外径:5~100
棒類
外径:3~200
板類
~700角

形状から選ぶ

石英ガラス
管・棒
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株式会社オハラ・クオーツの石英ガラス管・棒は、 超LSIプロセス用の合成石英から、各種治工具用の溶融石英まで、各種取り揃えております。
合成石英は、VAD法(Vapor- phase Axial Deposition)を改良発展させた独自の製法であり、超高純度で気泡を含まない管・棒製品を提供します。
溶融石英は、高純度水晶を原料とした製法であり、気泡の少ない有水品と、耐熱性の高い無水品を提供します。


合成石英ガラス
精密基板
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株式会社オハラ・クオーツの精密基板(サブストレート)は、VAD法合成石英ガラス SK-1300の優れた特性と当社の機密加工、研磨技術を組み合わせて生み出された製品で、次のような種類があります。
1.VSLI用フォトマスク基板
2.TFT液晶用基板
3.各種石英ウエハー

特性比較表

材質
合成石英
低熱膨張ガラス
(CLEARCERAM®-Z)
アルミナ
主成分純度 Wt/% 99.99/SiO2 SiO2 99.7
呈 色   透明 透明 白黄色
密 度 g/cm3 2.2 2.55 3.93
曲げ強度 Mpa 69 116 390
ヤング率 Gpa 71 90 375
ビッカース硬度 Gpa 8.8~10.1 6.8 18
最高使用温度 °C -   1600
熱膨張係数 1/°C(X10-6) 0.55 0 7
熱伝導率 W/m・K 1.1 1.51 33
体積抵抗率 25°C  Ω・cm >1015 1.5x1012 1016

微量不純物代表値

製法 材質 OH基
(ppm)
Al Fe Ti Ca Mg Cu P B Na K Li
合成石英 SK-1300
<200
<0.01 <0.01 <0.01 <0.01 <0.01 <0.01 <0.01 <0.01 <0.01 <0.01 <0.01
SK-1310 <1  <0.01 <0.01 <0.01 <0.01 <0.01 <0.01 <0.01 <0.01 <0.01 <0.01 <0.01
溶融石英 SK-4304
150
9.0 0.3 1.5 0.6 0.06 <0.03 <0.08 <0.03 0.3 0.2 0.1
SK-4306 150 8.0 0.2 1.5 0.4 0.06 <0.03 <0.08 <0.03 0.1 <0.1 <0.1

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