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VAD法合成石英ガラス SK-1300

 当社のSK-1300 は、光ファイバー製造技術であるVAD 法(気相軸付法)に、長年にわたる独自の改良を積み重ねて生み出された極めて高純度の、多用途に適した低OH の合成石英ガラスです。
SK-1300 は卓越した耐熱性、機械的強さ等に加えて、高い紫外線透過性、耐ソラリゼーション等、他に類を見ないすぐれた光学的特性を持っていますので、半導体工業、光産業、理化学研究の分野において広範囲に御利用いただきます。特に次のような用途に最も適しております。

1.TFT、SOI 等各種デバイス用基板
2.超LSI 及び液晶用フォトマスク基板
3.超LSI 製造プロセス用炉心管、治工具
4.放電ランプチューブ
5.紫外、真空紫外、各種レーザー光用レンズ

6.ミラー、ウインドウ等の光学素子

微量不純物分析値

ppb

元素 分析値 元素 分析値
Al <0.2 Co <0.01
Fe <0.5 Ni <1.0
Ti <0.1 P <1.0
Ca <0.5 B <0.01
Mg <0.1 Na <0.5
Mn <0.1 K <0.2
Cr <0.2 Li <0.1
Cu <0.2 Zr <0.1
OH <200(ppm)    

耐薬品性


溶 液 処理温度(℃) 時 間(H) 重量損失(mg/cm2)
H2O 95 45 0.0001~0.0002
1/100 N HNO3 115 24 0.005 ~0.01
5% NaOH 100 10 1.35

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透 過 率


透 過 率


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屈 折 率



波長(nm,空気中)

25℃ 空気中

20℃ 空気中
365.015(i) 1.474710 1.474655
404.656(h) 1.469786 1.469731
435.835(g) 1.466860 1.466807
486.133(F) 1.463293 1.463240
546.075(e) 1.460245 1.460194
587.562(d) 1.458631 1.458580
656.273(C) 1.456535 1.456484

測定精度 ±1×10-6

20℃~25℃ 空気中
波長(nm,空気中)
1×10-6/℃
dn/dt
365.015(i) 11.3
404.656(h) 11.0
435.835(g) 10.7
486.133(F) 10.5
546.075(e) 10.2
587.562(d) 10.3
656.273(C) 10.1

測定精度 ±0.3×10-6


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光学的品質


項 目 グレード
気   泡 0~0.03mm2/100cm3
脈   理 1方向グレードA(MIL-G-174による)
複屈折(歪) 10nm/cm以下
蛍   光 なし(励起波長254nm)

物理的諸特性


項 目 単位 特性値 項 目 単位 特性値
密    度 g/cm3 2.2 熱膨張係数 1/K 5.5×10-7
ヤング率 GPa 71.4      
ねじれ剛性率 GPa 30.9 軟 化 点 1700
ポアソン比   0.17 徐 冷 点 1160
圧縮強さ GPa 1.1 歪   点 1060
曲げ強さ MPa 69      
引張強さ MPa 55 比熱(26℃) kJ/kg・K 0.74
ビッカーズ硬さ GPa 8.8~10.1 熱伝導率 (26℃)
(100℃)
W/m・K
W/m・K
1.1
1.4
ヌープ硬さ GPa 6.4~7.0



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