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石英ガラス 管・棒

tube.rod 当社の石英ガラス管・棒は、超LSI プロセス用の合成石英から、各種治工具用の溶融石英まで、各種取り揃えております。
 合成石英は、VAD 法(Vapor-phased Axial Deposition)を改良発展させた独自の製法であり、超高純度で気泡を含まない管・棒製品を提供します。
 溶融石英は、高純度水晶を原料とした製法であり、気泡の少ない有水品と、耐熱性の高い無水品を提供します。

品 種


品 種


標準寸法


  外径(mm) 肉厚(mm) 長さ(m)
小 径 管 5~100 0.7~15 1
大 径 管 100~450 3~5 2~3
5~200   1

※上記以外の寸法につきましては、別途御相談に応じます。


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微量不純物分析値

ppm

元 素

Al

Fe Ca Cu Na K Li OH基
SK-1300 <0.01 <0.01 <0.01 <0.01 <0.01 <0.01 <0.01 <200
SK-1310 <0.01 <0.01 <0.01 <0.01 <0.01 <0.01 <0.01 <1
SK-4304 9 0.3 0.6 <0.03 0.3 0.2 <0.1 約150
SK-4306 8 0.2 0.4 <0.03 0.1 <0.1 <0.1 約150

粘   性


粘   性


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耐薬品


薬品 処理温度(℃)・時 間(H) 重量損失(mg/cm2)
5% HCℓ 25 100 0.01
5% H2SO4 25 100 0.01
10% NH4OH 20 100 0.015
10% NaOH 20 100 0.03


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