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合成石英ガラス 精密基板

㈱オハラ・クオーツの精密基板（サブストレート）は、VAD 法合成石英ガラスSK-1300の優れた特性と当社の精密加工、研磨技術を組み合わせて生み出された製品で、次のような種類があります。

1. VSLI 用フォトマスク基板
2. TFT 液晶用基板
3. 各種石英ウエハー

材料特性（合成石英ガラスSK-1300）

項目		特性値		項目		特性値
密度	g/cm3	2.20		熱膨張係数	15～200℃　1/k	5.5×10-7
屈折率	(nm)	(25℃)
	248.20	1.509		軟化点	℃	1700
	365.48	1.475		徐冷点	℃	1160
	435.83	1.467		歪点	℃	1060
透過率	(nm)	(t＝2.3mm)
	200	≧90％		耐薬品性
	250	≧91％		溶液	温度(℃)・時間(H)	重量損失(mg/cm2)
	350	≧92％		1/100NHNO3	115　24	0.005～0.01
	400	≧92％		5％NaOH	100　10	1.35

VLSI用フォトマスク基板　寸法例

 

公称	実寸法mm	公　　差		平坦度（表面）
		外径	厚さ
4006	101.2×101.2×t1.6	±2	±0.1
5009	126.6×126.6×t2.3	±2	±0.1
6009	152.0×152.0×t2.3	±2	±0.1	Aグレード　2μm
6012	152.0×152.0×t3.05	±2	±0.1	Bグレード　5μm
6015	152.0×152.0×t3.8	±2	±0.1	Cグレード　10μm
7012	177.4×177.4×t3.05	±2	±0.1
7015	177.4×177.4×t3.8	±2	±0.1
7025	177.4×177.4×t6.35	±2	±0.1

TFT液晶基板・石英ウェハー寸法例

公称	実寸法mm	公　　差		オリフラ mm	平坦度 μm
		外径	厚さ
φ3°	φ 76.0×t0.525	±0.2	±0.05	22±1	10
	φ 76.0×t0.6	±0.2	±0.05	22±1	10
φ4°	φ100.0×t0.6	±0.2	±0.05	32.5±1	10
	φ100.0×t1.1	±0.2	±0.05	32.5±1	10
φ5°	φ125.0×t0.625	±0.2	±0.05	42.5±1	10
	φ125.0×t0.8	±0.2	±0.05	42.5±1	10
	φ125.0×t1.1	±0.2	±0.05	42.5±1	10
φ6°	φ150.0×t0.625	±0.3	±0.05	47.5±2	20
	φ150.0×t0.8	±0.3	±0.05	47.5±2	20
	φ150.0×t1.1	±0.3	±0.05	47.5±2	20
φ7°	φ175.0×t0.8	±0.3	±0.05	52.5±2	20
	φ175.0×t1.1	±0.3	±0.05	52.5±2	20
φ8°	φ200.0×t0.8	±0.3	±0.05	57.5±2.5	25
	φ200.0×t1.1	±0.3	±0.05	57.5±2.5	25
φ12°	φ300.0×t0.775	±0.2	±0.05	ノッチ対応	45

合成石英耐熱温度のOH濃度依存性

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