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合成石英ガラス 精密基板

㈱オハラ・クオーツの精密基板(サブストレート)は、VAD 法合成石英ガラスSK-1300の優れた特性と当社の精密加工、研磨技術を組み合わせて生み出された製品で、次のような種類があります。

  1. VSLI 用フォトマスク基板
  2. TFT 液晶用基板
  3. 各種石英ウエハー

材料特性(合成石英ガラスSK-1300)


項目   特性値   項目   特性値
密度 g/cm3 2.20   熱膨張係数 15~200℃ 1/k 5.5×10-7
屈折率

 

(nm) (25℃)        
248.20 1.509   軟化点 1700
365.48 1.475   徐冷点 1160
435.83 1.467   歪点 1060
透過率 (nm) (t=2.3mm)        
200 ≧90%   耐薬品性    
250

≧91%

  溶液 温度(℃)・時間(H) 重量損失(mg/cm2)
350 ≧92%   1/100NHNO3 115 24 0.005~0.01
400 ≧92%    5%NaOH 100 10 1.35

5inch角 2.3m/m

6inch丸 0.8m/m

VLSI用フォトマスク基板 寸法例

 

公称 実寸法mm 公  差 平坦度(表面)
外径 厚さ
4006 101.2×101.2×t1.6 ±2 ±0.1  
5009 126.6×126.6×t2.3 ±2 ±0.1  
6009 152.0×152.0×t2.3 ±2 ±0.1 Aグレード 2μm
6012 152.0×152.0×t3.05 ±2 ±0.1 Bグレード 5μm
6015 152.0×152.0×t3.8 ±2 ±0.1 Cグレード 10μm
7012 177.4×177.4×t3.05 ±2 ±0.1  
7015 177.4×177.4×t3.8 ±2 ±0.1  
7025 177.4×177.4×t6.35 ±2 ±0.1  

TFT液晶基板・石英ウェハー寸法例


公称 実寸法mm 公  差 オリフラ mm 平坦度 μm
外径 厚さ
φ3° φ 76.0×t0.525 ±0.2 ±0.05 22±1 10
φ 76.0×t0.6 ±0.2 ±0.05 22±1 10
φ4° φ100.0×t0.6 ±0.2 ±0.05 32.5±1 10
φ100.0×t1.1 ±0.2 ±0.05 32.5±1 10
φ5° φ125.0×t0.625 ±0.2 ±0.05 42.5±1 10
φ125.0×t0.8 ±0.2 ±0.05 42.5±1 10
φ125.0×t1.1 ±0.2 ±0.05 42.5±1 10
φ6° φ150.0×t0.625 ±0.3 ±0.05 47.5±2 20
φ150.0×t0.8 ±0.3 ±0.05 47.5±2 20
φ150.0×t1.1 ±0.3 ±0.05 47.5±2 20
φ7° φ175.0×t0.8 ±0.3 ±0.05 52.5±2 20
φ175.0×t1.1 ±0.3 ±0.05 52.5±2 20
φ8° φ200.0×t0.8 ±0.3 ±0.05 57.5±2.5 25
φ200.0×t1.1 ±0.3 ±0.05 57.5±2.5 25
φ12° φ300.0×t0.775 ±0.2 ±0.05 ノッチ対応 45
※上記以外の寸法、使用についてもご相談下さい。


合成石英耐熱温度のOH濃度依存性


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