| 合成石英 SK-1300シリーズ   |
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| 溶融石英 SK-4304シリーズ SK-4306 シリーズ  |
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| 石英ガラス 管・棒 |
 合成石英は、VAD法(Vapor- phase Axial Deposition)を改良発展させた独自の製法であり、超高純度で気泡を含まない管・棒製品を提供します。 溶融石英は、高純度水晶を原料とした製法であり、気泡の少ない有水品と、耐熱性の高い無水品を提供します。 |
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| 合成石英ガラス 精密基板 |
 1.VSLI用フォトマスク基板 2.TFT液晶用基板 3.各種石英ウエハー |
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特性比較表
材質 |
合成石英 |
低熱膨張ガラス (CLEARCERAM®-Z) |
アルミナ |
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| 主成分純度 | Wt/% | 99.99/SiO2 | SiO2 | 99.7 |
| 呈 色 | 透明 | 透明 | 白黄色 | |
| 密 度 | g/cm3 | 2.2 | 2.55 | 3.93 |
| 曲げ強度 | Mpa | 69 | 116 | 390 |
| ヤング率 | Gpa | 71 | 90 | 375 |
| ビッカース硬度 | Gpa | 8.8～10.1 | 6.8 | 18 |
| 最高使用温度 | °C | - | 1600 | |
| 熱膨張係数 | 1/°C(X10-6) | 0.55 | 0 | 7 |
| 熱伝導率 | W/m・K | 1.1 | 1.51 | 33 |
| 体積抵抗率 | 25°C Ω・cm | >1015 | 1.5x1012 | 1016 |
(数値は参考値であり、保証値ではありません。)
微量不純物代表値
| 製法 | 材質 | OH基 (ppm) |
Al | Fe | Ti | Ca | Mg | Cu | P | B | Na | K | Li |
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| 合成石英 | SK-1300 |
<200 |
<0.01 | <0.01 | <0.01 | <0.01 | <0.01 | <0.01 | <0.01 | <0.01 | <0.01 | <0.01 | <0.01 |
| SK-1310 | <1 | <0.01 | <0.01 | <0.01 | <0.01 | <0.01 | <0.01 | <0.01 | <0.01 | <0.01 | <0.01 | <0.01 | |
| 溶融石英 | SK-4304 |
150 |
9.0 | 0.3 | 1.5 | 0.6 | 0.06 | <0.03 | <0.08 | <0.03 | 0.3 | 0.2 | 0.1 |
| SK-4306 | 150 | 8.0 | 0.2 | 1.5 | 0.4 | 0.06 | <0.03 | <0.08 | <0.03 | 0.1 | <0.1 | <0.1 |
(数値は参考値であり、保証値ではありません。)
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