㈱オハラ・クオーツの精密基板(サブストレート)は、VAD 法合成石英ガラスSK-1300の優れた特性と当社の精密加工、研磨技術を組み合わせて生み出された製品で、次のような種類があります。
項目 | 特性値 | 項目 | 特性値 | |||
---|---|---|---|---|---|---|
密度 | g/cm3 | 2.20 | 熱膨張係数 | 15~200℃ 1/k | 5.5×10-7 | |
屈折率
|
(nm) | (25℃) | ||||
248.20 | 1.509 | 軟化点 | ℃ | 1700 | ||
365.48 | 1.475 | 徐冷点 | ℃ | 1160 | ||
435.83 | 1.467 | 歪点 | ℃ | 1060 | ||
透過率 | (nm) | (t=2.3mm) | ||||
200 | ≧90% | 耐薬品性 | ||||
250 | ≧91% |
溶液 | 温度(℃)・時間(H) | 重量損失(mg/cm2) | ||
350 | ≧92% | 1/100NHNO3 | 115 24 | 0.005~0.01 | ||
400 | ≧92% | 5%NaOH | 100 10 | 1.35 |
公称 | 実寸法mm | 公 差 | 平坦度(表面) | |
---|---|---|---|---|
外径 | 厚さ | |||
4006 | 101.2×101.2×t1.6 | ±2 | ±0.1 | |
5009 | 126.6×126.6×t2.3 | ±2 | ±0.1 | |
6009 | 152.0×152.0×t2.3 | ±2 | ±0.1 | Aグレード 2μm |
6012 | 152.0×152.0×t3.05 | ±2 | ±0.1 | Bグレード 5μm |
6015 | 152.0×152.0×t3.8 | ±2 | ±0.1 | Cグレード 10μm |
7012 | 177.4×177.4×t3.05 | ±2 | ±0.1 | |
7015 | 177.4×177.4×t3.8 | ±2 | ±0.1 | |
7025 | 177.4×177.4×t6.35 | ±2 | ±0.1 |
公称 | 実寸法mm | 公 差 | オリフラ mm | 平坦度 μm | |
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外径 | 厚さ | ||||
φ3° | φ 76.0×t0.525 | ±0.2 | ±0.05 | 22±1 | 10 |
φ 76.0×t0.6 | ±0.2 | ±0.05 | 22±1 | 10 | |
φ4° | φ100.0×t0.6 | ±0.2 | ±0.05 | 32.5±1 | 10 |
φ100.0×t1.1 | ±0.2 | ±0.05 | 32.5±1 | 10 | |
φ5° | φ125.0×t0.625 | ±0.2 | ±0.05 | 42.5±1 | 10 |
φ125.0×t0.8 | ±0.2 | ±0.05 | 42.5±1 | 10 | |
φ125.0×t1.1 | ±0.2 | ±0.05 | 42.5±1 | 10 | |
φ6° | φ150.0×t0.625 | ±0.3 | ±0.05 | 47.5±2 | 20 |
φ150.0×t0.8 | ±0.3 | ±0.05 | 47.5±2 | 20 | |
φ150.0×t1.1 | ±0.3 | ±0.05 | 47.5±2 | 20 | |
φ7° | φ175.0×t0.8 | ±0.3 | ±0.05 | 52.5±2 | 20 |
φ175.0×t1.1 | ±0.3 | ±0.05 | 52.5±2 | 20 | |
φ8° | φ200.0×t0.8 | ±0.3 | ±0.05 | 57.5±2.5 | 25 |
φ200.0×t1.1 | ±0.3 | ±0.05 | 57.5±2.5 | 25 | |
φ12° | φ300.0×t0.775 | ±0.2 | ±0.05 | ノッチ対応 | 45 |
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