高純度溶融石英ガラス SK-4304/4306
溶融石英ガラスSK-4304、SK-4306 は、精選された天然水晶を酸水素ガス炎により、時間をかけて溶融した高純度石英ガラスで、気泡が非常に少なく、且つアルカリ金属等の有害な不純物含有量が極めて微量である事が特徴です。
形状：板、ブロック、管、棒。
用途：半導体工業用各種治工具、大型洗浄槽、スパッタリングターゲット、高温用ウインドウ、等。
微量不純物分析例
ppm
| 元素 | Al | Fe | Ca | Cu | Na | K | Li | OH基 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| SK-4304 | 9 | 0.3 | 0.6 | ＜0.03 | 0.3 | 0.2 | ＜0.1 | 約150 |
| SK-4306 | 8 | 0.2 | 0.4 | ＜0.03 | 0.1 | ＜0.1 | ＜0.1 | 約150 |
(数値は参考値であり、保証値ではありません。)
耐薬品性
| 溶 液 | 処理温度（℃） ・ 時 間（H） | 重量損失(mg/cm2) | |
|---|---|---|---|
| H2O | 95 | 24 | 0.001 |
| 5% HCℓ | 95 | 24 | 0.01 |
| 5% H2SO4 | 95 | 24 | 0.01 |
| 5% NaOH | 95 | 6 | 0.7 |
(数値は参考値であり、保証値ではありません。)
粘 性
(数値は参考値であり、保証値ではありません。)
透 過 率
(数値は参考値であり、保証値ではありません。)
物理的諸特性
| 項 目 | 単位 | 特性値 | 項 目 | 単位 | 特性値 |
|---|---|---|---|---|---|
| 密 度 | g/cm3 | 2.20 | 熱膨張係数 | 1/K | 5.5×10-7 |
| ヤング率 | GPa | 73.0 | |||
| ねじれ剛性率 | GPa | 29.4 | 軟化点 | ℃ | 1720 |
| ポアソン比 | 0.17 | 徐冷点 | ℃ | 1170 | |
| 圧縮強さ | GPa | 1.1 | 歪点 | ℃ | 1060 |
| 曲げ強さ | MPa | 69 | |||
| 引張強さ | MPa | 55 | 比熱(25℃) | kJ/kg・K | 0.74 |
| ビッカーズ硬さ | GPa | 8.8 |
(数値は参考値であり、保証値ではありません。)
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