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HOME > 製品/サービス > 高純度溶融石英ガラス SK-4304/4306

VAD法無水合成石英ガラス SK-1310

 溶融石英ガラスSK-4304、SK-4306 は、精選された天然水晶を酸水素ガス炎により、時間をかけて溶融した高純度石英ガラスで、気泡が非常に少なく、且つアルカリ金属等の有害な不純物含有量が極めて微量である事が特徴です。


形状:板、ブロック、管、棒。
用途:半導体工業用各種治工具、大型洗浄槽、スパッタリングターゲット、高温用ウインドウ、等。

微量不純物分析例

ppm

元素 Al Fe Ca Cu Na K Li OH基
SK-4304 9 0.3 0.6 <0.03 0.3 0.2 <0.1 約150
SK-4306 8 0.2 0.4 <0.03 0.1 <0.1 <0.1 約150

耐薬品性


溶 液 処理温度(℃)  ・  時 間(H) 重量損失(mg/cm2)
H2O 95 24 0.001
5% HCℓ 95 24 0.01
5% H2SO4 95 24 0.01
5% NaOH 95 6 0.7

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粘 性


粘性


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透 過 率


透 過 率


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物理的諸特性


項 目 単位 特性値 項 目 単位 特性値
密    度 g/cm3 2.20 熱膨張係数 1/K 5.5×10-7
ヤング率 GPa 73.0      
ねじれ剛性率 GPa 29.4 軟 化 点 1720
ポアソン比   0.17 徐 冷 点 1170
圧縮強さ GPa 1.1 歪   点 1060
曲げ強さ MPa 69      
引張強さ MPa 55 比熱(25℃) kJ/kg・K 0.74
ビッカーズ硬さ GPa 8.8      



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